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产品时间:2020-04-17 10:06
简要描述:
大面积刻蚀与沉积的量产型解决方案 Full overview 更大的批量生产能力 高产量 更稳定的器件质量 低购置成本 提供单晶圆传送腔室或者多至三个腔室的集群式配置 标准的真空传送腔室,...
大面积刻蚀与沉积的量产型解决方案
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更大的批量生产能力
高产量
更稳定的器件质量
低购置成本
提供单晶圆传送腔室或者多至三个腔室的集群式配置
标准的真空传送腔室,具有直开式和集群式选项
出色的正常运转时间
高质量器件性能和良率
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