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刻蚀机

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PlasmaPro 1000

产品时间:2020-04-17 10:06

简要描述:

大面积刻蚀与沉积的量产型解决方案 Full overview 更大的批量生产能力 高产量 更稳定的器件质量 低购置成本 提供单晶圆传送腔室或者多至三个腔室的集群式配置 标准的真空传送腔室,...

详细介绍

大面积刻蚀与沉积的量产型解决方案

  • 更大的批量生产能力

  • 高产量

  • 更稳定的器件质量

  • 低购置成本

  • 提供单晶圆传送腔室或者多至三个腔室的集群式配置

  • 标准的真空传送腔室,具有直开式和集群式选项

  • 出色的正常运转时间

  • 高质量器件性能和良率

 


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