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PlasmaPro 800 PECVD

产品时间:2020-04-17 10:03

简要描述:

PlasmaPro 800具有460mm直径的工作台,拥有处理整片的300mm晶圆或大批量43 x 50mm(2”)晶圆的能力, 可提供全套量产解决方案。PlasmaPro 800是公认的市场前列产品。...

详细介绍
PlasmaPro 800具有460mm直径的工作台,拥有处理整片的300mm晶圆或大批量43 x 50mm(2”)晶圆的能力, 可提供全套量产解决方案。PlasmaPro 800是公认的市场前列产品。
      
  • 高性能工艺

  • 准确的衬底温度控制

  • 准确的工艺控制

  • 成熟的300mm单晶圆失效分析工艺


 


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