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在痕量元素定量分析方面，ICP-MS 拥有最为强大的技术水平。ICP-MS 最严重的限制是对元素信号的多原子干扰。高质量数分辨率是消除这些干扰的金标准，可在痕量水平上准确可靠地进行多元素定量分析，样品制备步骤极为简便。
多元素分析- 多元素检测器可处理瞬变信号，包括 HPLC、GC 和激光消融。
- 元素周期表中的无干扰测量涵盖基质组分（mg∙L-1）和超痕量元素（低于 1 pg∙L-1）。
- 最高灵敏度 ICP-MS（低分辨率时）。
- 高质量数分辨率可获取谱干扰同位素，生成清晰的元素谱
- 对无干扰或受干扰同位素进行高精度同位素比分析。
- 热等离子体和冷等离子体状态。
宽线性动态检测范围对于 ICP-MS 来说至关重要，因为其允许通过单次运行分析较宽的浓度范围。
集成式法拉第检测器的特性：
- 采样时间低至 1 ms。
- 测量高强度峰后无需衰减时间
- SEM 和法拉第之间自动切换，延迟时间为 <1 ms。
- 不同检测器模式之间的线性交叉范围较宽（>2 个数量级），允许准确进行自动交叉校正。
- 动态范围为 0.2 cps（SEM）到 >1 x 1012 cps（法拉第）。
