更大的批量生产能力

高产量

更稳定的器件质量

低购置成本

提供单晶圆传送腔室或者多至三个腔室的集群式配置

标准的真空传送腔室，具有直开式和集群式选项

出色的正常运转时间

高质量器件性能和良率  

概述

LED工业要求高产量，高器件质量和低购置成本。 PlasmaPro 1000更好地解决了这些需求。

特征

PlasmaPro 1000设备能为LED生产商提供更好的行业优势

490mm电极 - 更为先进的批量规模，多达7 x 6”晶圆，提供了更高的产量

可靠的硬件系统易维护性 - 出色的正常运转时间

最大化压盘 - 增强晶圆冷却

Z向可移动电极 - 更好的均匀性

双进气口 - 易于工艺调整

特殊的载盘设计 - 每片晶圆在最小的边缘去除区域之内，均获得有效的冷却，且易于使用和维护

高导通的径向（轴对称）抽气结构 - 确保提升了工艺均匀性和速率